高精度工具測量顯微鏡系列

產(chǎn)品型號：MS系列

簡要描述：顯微鏡系列，MS高精度工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。

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　　舜宇 SOPTOP MS 系列高精度工具測量顯微鏡：工業(yè)精密檢測一體化解決方案

　　一、產(chǎn)品概述

　　舜宇儀器作為國內(nèi)專業(yè)光學(xué)儀器生產(chǎn)廠商，自主研發(fā)推出 MS 系列高精度工具測量顯微鏡，是一款融合金相顯微觀測與三維尺寸測量能力的復(fù)合型國產(chǎn)精密檢測設(shè)備。設(shè)備打破傳統(tǒng)單一檢測設(shè)備的功能局限，將金相顯微鏡高倍率微觀觀察優(yōu)勢、影像測量儀 XYZ 三軸尺寸測量功能合二為一，集成明場、暗場、微分干涉、偏光等多模式觀測光路，適配多行業(yè)精密零部件外觀、形貌、尺寸一體化檢測需求。

　　設(shè)備搭載行業(yè)成熟的無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，配套長工作距離金相物鏡與六孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器，兼顧大視野觀測、超長工作距離測量與超高放大倍率三重需求，面對微小精密元器件、大尺寸工件、高低落差復(fù)雜樣品都能提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)的檢測方案，是半導(dǎo)體、電子制造、精密加工、醫(yī)療等行業(yè)實驗室與產(chǎn)線質(zhì)檢的核心設(shè)備。

　　二、核心硬件結(jié)構(gòu)與七大核心優(yōu)勢

　　(一)一體化人體工學(xué)整機(jī)設(shè)計

　　MS 系列采用高度集成一體式機(jī)身架構(gòu)，設(shè)備工作臺整合主機(jī)容納空間，前置可收納鍵盤位，X、Y 雙軸操作手輪、功能按鍵布局貼合人體操作習(xí)慣，檢測人員全程坐姿即可完成全部操作，無需頻繁起身調(diào)整工位。同時設(shè)備支持兩種工作臺方案自由選配，小型一體式操作臺節(jié)省實驗室空間，大型專用設(shè)備桌可承載更多配套外設(shè)，企業(yè)可根據(jù)車間場地、檢測批量靈活選擇。

　　(二)5°-35° 寬幅可調(diào)雙目觀察筒

　　設(shè)備雙目觀測筒支持 5° 至 35° 傾斜角度無極調(diào)節(jié)，適配不同身高操作人員，無論是站立快速抽檢，還是長時間坐式精細(xì)檢測，都能調(diào)整至舒適觀測視角，大幅緩解長期檢測帶來的頸部疲勞，兼顧產(chǎn)線批量檢測與實驗室高精度分析兩種使用場景。

　　(三)多規(guī)格大行程花崗石載物臺，支持定制

　　載物臺基底采用高精度花崗石材質(zhì)，穩(wěn)定性強(qiáng)、不易變形，提供四款標(biāo)準(zhǔn)行程規(guī)格：200mm×100mm、300mm×200mm、300mm×300mm、400mm×300mm，從小型芯片、PCB 微元件到大型模具零部件均可平穩(wěn)放置。針對超大尺寸、異形工件檢測需求，廠商還可提供載物臺非標(biāo)定制服務(wù)，全覆蓋各類樣品尺寸檢測需求。

　　(四)0.1μm 超高精度三軸測量系統(tǒng)

　　整機(jī)搭載分辨率達(dá) 0.1 微米的 XYZ 三軸光柵測量系統(tǒng)，Z 軸最大運動行程可達(dá) 150mm，可輕松完成高低落差樣品的高度、臺階尺寸測量。Z 軸配備機(jī)架集成式電動調(diào)焦控制器，設(shè)置三檔調(diào)速模式，精細(xì)對焦、快速移動自由切換，大幅提升調(diào)焦效率，減少長時間檢測帶來的操作疲勞；配套 SW3000 三軸數(shù)顯計數(shù)器，實時同步顯示 X/Y/Z 三軸坐標(biāo)數(shù)值，公英制一鍵切換，數(shù)據(jù)讀取直觀清晰。

　　(五)獨立裂像輔助對焦光源，對焦精準(zhǔn)高效

　　設(shè)備搭載專屬獨立裂像光源控制系統(tǒng)，可根據(jù)樣品表面反光、底色差異自由調(diào)節(jié)光源亮度，快速鎖定樣品最佳焦平面。內(nèi)置明襯、暗襯兩種裂像對焦圖案，一鍵切換，針對啞光工件、鏡面晶圓、金屬鍍層等不同材質(zhì)樣品，都能快速完成清晰對焦，解決高倍觀測下對焦模糊、定位困難的行業(yè)痛點。

　　(六)自主研發(fā)專業(yè)測量軟件，智能高效測量

　　配套舜宇自主開發(fā) MS 專用測量軟件，操作界面簡潔直觀，支持用戶自定義檢測參數(shù)、保存專屬測試方案。軟件與六孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器聯(lián)動，可自動識別當(dāng)前物鏡倍率，杜絕人工手動選錯倍率造成的尺寸誤差；內(nèi)置點、線、圓、圓弧、距離、角度、面積等全套幾何測量工具，面對不規(guī)則復(fù)雜輪廓、微型精密結(jié)構(gòu)，均可完成微米級高精度尺寸測算，測量數(shù)據(jù)可實時存儲、導(dǎo)出歸檔，滿足質(zhì)檢數(shù)據(jù)追溯要求。

　　(七)專業(yè)金相光學(xué)配置，多模式微觀觀測

　　主機(jī)光路搭載標(biāo)準(zhǔn)明場(BF)、暗場(DF)切換模塊，搭配長工作距金相物鏡與六孔電動轉(zhuǎn)換器，可拓展微分干涉、偏光觀測功能。明場用于常規(guī)金屬、電子元件形貌觀察；暗場可凸顯樣品表面微小劃痕、顆粒缺陷；微分干涉清晰呈現(xiàn)樣品表面微觀凹凸形貌；偏光模式適配晶體、鍍層、復(fù)合材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)分析，一臺設(shè)備即可完成多類微觀缺陷檢測。

　　三、廣泛行業(yè)應(yīng)用場景

　　MS 系列工具測量顯微鏡憑借觀測 + 測量一體化能力，覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈精密質(zhì)檢場景，主流應(yīng)用行業(yè)包含：

　　半導(dǎo)體與光通訊行業(yè)：晶圓、芯片引腳、光纖連接器、精密陶瓷元件外觀缺陷與尺寸檢測；

　　電子制造產(chǎn)業(yè)：PCB 線路板、LCD 顯示屏、手機(jī)零部件、微型連接器、電池極片微觀形貌、孔徑、線寬測量；

　　精密五金與模具行業(yè)：沖壓件、模具型腔、刀具、微小緊固件倒角、臺階、輪廓尺寸檢測；

　　醫(yī)療器械行業(yè)：微型醫(yī)用金屬配件、導(dǎo)管、精密植入件表面瑕疵與幾何參數(shù)測量；

　　汽車零部件與計量實驗室：汽車微型傳感器、精密密封件尺寸校驗，計量機(jī)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)件精度標(biāo)定。

　　四、產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

　　MS 系列高精度工具測量顯微鏡由寧波舜宇儀器有限公司自主生產(chǎn)，屬于國產(chǎn)精密光學(xué)檢測設(shè)備，設(shè)備售價面議，最終成交價格根據(jù)載物臺規(guī)格、光路配置、軟件配套、工作臺選配等需求以商務(wù)合同為準(zhǔn)。設(shè)備上線至今累計瀏覽量超 9000 次，獲得各行業(yè)質(zhì)檢實驗室、生產(chǎn)車間廣泛落地應(yīng)用，是替代進(jìn)口工具顯微鏡的高性價比國產(chǎn)檢測方案。

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